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《电子科学与技术类专业精品教材 集成电路制造技术·原理与工艺()》是哈尔滨工业大学“国家集成电路人才培养基地”教学建设成果,全书分5个单元系统地介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术。第单元介绍硅衬底,主要介绍硅单晶的结构特点,单晶硅锭的拉制,硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第2~5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备,以及所依托的技术基础及发展趋势。附录A介绍以制作双极型晶体管为例的微电子生产实习,双极型晶体管的全部工艺步骤与检测技术 附录B介绍工艺模拟知识和SUPREM软件。附录部分可帮助学生从理论走向生产实践,对微电子产品制造技术的原理与工艺全过程有更深入的了解。《电子科学与技术类专业精品教材 集成电路制
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