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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787118123227 Author 作者 [加拿大] Maria Stepanova,Steven Dew Format 版本 精装 Pages Number 页数 328页 Publisher 出版社 国防工业出版社 Publication Date 出版日期 2021-07-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 纳米图形加工是目前微纳米科技中的关键技术,本书邀请了靠前上本领域的多位专家在自己的特长领域撰写了相关章节,对纳米图形加工技术做了较全面的介绍,对我国从事微纳米加工、精密制造、微纳光电器件等领域的专家学者有借鉴作用。本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的近期新核心技术。 本书兼顾了纳米加工的基础原理和应用实例。潜在的读者,即所有对纳米结构加工新方法感兴趣的人员,包括
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