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微机电系统与设计娄利飞 编电子工业出版社9787121108082 正版旧书，保证质量，此书为单本而非一套，电子发票！
本书较全面、系统地介绍了微机电系统的相关技术，并给出了大量实例，尽量使用通俗易懂的语言，让刚接触微机电系统的读者能够全面地了解这门学科。作者参考了国内外大量的相关文献资料，在教学实践基础上，并结合在科研和工作中的体会，编写了这本教材。 本书共8章，第1章初识微机电系统，介绍了微机电系统的基本概念和特点、起源、与传统机械和微电子的关联及应用和发展现状。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件，包括硅基微制造工艺、LIGA工艺和微细特种加工技术。第5章详细介绍了微机电系统的设计仿真、分级建模和MEMS CAD技术。第6章讲述了微机电系统设计和封装中相关的工程力学问题和尺度效应。第7章和
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