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1. 本书概况 极紫外光刻是光刻里的技术，它是7nm及以下芯片制造的核心的技术关键。本书综合地介绍了极紫外光刻技术相关联的各个重要方面及其发展历程，不仅论述了极紫外光源、极紫外光刻曝光系统、极紫外掩模板、极紫外光刻胶、极紫外计算光刻的技术内容，而且还讨论了极紫外光刻生态系统的其他重要方面。 2.本书特色 （1）本书是一本论述极紫外光刻技术的的专著，有关极紫外光刻技术许多的研发内容都有所介绍和讨论。 （2）目前尚没有一本中文版的有关极紫外光刻技术的专门论著或译著，对于从事芯片领域的从业技术人员，这是一本非常及时且内容丰富的参考书。 （3）本书从内容上看新颖又全面，从形式上看详实又精炼。
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极紫外光刻【饮水图书 正版速发】 【全店支持发票 请联系客服】
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【预订】Extreme Ultraviolet Lithography 9781510639393 国外库房发货，通常付款后3-5周到货！
Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9781510639393 Author 作者 Harry J. Levinson Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 245页 Publisher 出版社 SPIE Press Publication Date 出版日期 2020-12-30 Language 语种 英语 Book Contents 内容简介 This book covers the many aspects of lithographic technology that needed to be addressed in order to make EUV lithography ready for high-volume manufacturing: exposure tools, light sources, masks, resists, process control, metrology, and computational lithography. Lithography costs, which have often influenced the areas of technical focus, are discussed. Potential improvements to current EUV technology and extensions to future nodes are also covered. Each topic is approached from the perspective of a practicing lithographer in a wafer fab, in either manufacturing or development, and there are many references at the end of each chapter.
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【预订】Principles of Lithography 9781510627604 国外库房发货，通常付款后3-5周到货！
Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9781510627604 Author 作者 Harry J. Levinson Format 版本 精装 Pages Number 页数 630页 Publisher 出版社 SPIE Press Publication Date 出版日期 2019-07-30 Language 语种 英语
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预订 The American Success Myth on Film [ISBN:9781349348916] 【全球购】进口原版图书，约3-6周到达国内后发出
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预订 The American Success Myth on Film [ISBN:9781137482525] 【全球购】进口原版图书，约3-6周到达国内后发出
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【预订】The Seasons of a Man's Life 美国库房发货，通常付款后3-5周到货！
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预订 Trumpet Blues: The Life of Harry James [ISBN:978019514239 【全球购】进口原版图书，约3-6周到达国内后发出
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预订 Achieving Success for New and Aspiring Superintendents: A 【全球购】进口原版图书，约3-6周到达国内后发出
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【预订】Disaster Victim Identification 9781032385037 国外库房发货，通常付款后3-5周到货！
Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9781032385037 Author 作者 Jay H. Levinson and Abraham J. Domb Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 112页 Publisher 出版社 CRC Press Publication Date 出版日期 2023-06-14 Product Dimensions 商品尺寸 234 x 156 mm (6.14 x 9.21 Language 语种 其它（含多语） Book Contents 内容简介 Disaster Victim Identification: A Manager’s Guide to Policy and Procedure’s guiding thesis explains why disaster victim identification (DVI) must be fundamentally integrated—at the outset—into general disaster planning and operations procedures. By doing so, it allows for pre-event assessment of any risks and vulnerabilities, in coordination with planning and response agencies, so that the on-site response isn’t the first time they have communicated and worked together.The book outlines the importance of exercising, interagency memoranda of understanding (MOU), and coo
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预订Implicit Racial Bias Across the Law [ISBN:9781107010956] 【全球购】进口原版图书，约3-6周到达国内后发出
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海外直订Selected Papers of Norman Levinson 诺曼·莱文森论文选集
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极紫外光刻 (美) 哈利·杰·莱文森著 上海科学技术出版社 【新华正版全新书籍】
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极紫外光刻 [美]哈利?杰?莱文森（Harry J.Levinson) 上海科学技术出版社 9787547857212 可开发票
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SEASONS OF A MAN'S LIFE(ISBN=9780345339010)
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SEASONS OF A WOMAN'S LIFE, THE(ISBN=9780345311740)
Affirming and illuminating . . . psychologically rich. -- San Jose Mercury News What emerges is a highly nuanced portrait. -- The New YorkTimes Book Review, Susan Jacoby
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