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巍巍交大百年书香
非硅MEMS技术及其应用
非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者陈文元、张卫平、陈迪及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，《非硅MEMS技术及其应用(精)》中详细叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期从事非硅MEMS技术研究，理论结合实际，科学研究的总结。
¥122.80定价：¥150.00 (8.19折)
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陈文元，陈卫平，陈迪 著 /2015-03-01 /上海交通大学出版社
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