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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787118108873 Author 作者 (德)沃克尔·肯普(Volker Kempe) 著;张新国 等 译 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 410页 Publisher 出版社 国防工业出版社 Publication Date 出版日期 2016-05-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 该书共分9个章节。其中6个章节(包括引言)用于讲述MEMS相关技术的理论基础。靠前章讲述了惯性MEMS中很重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识;*章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识,这些在设计惯性MEMS传感器时很好重要;第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术;第五章讲述MEMS封装技术;第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员,而且对其他想对MEMS有总体了解的人
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