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当今时代,永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动中应用广泛,同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动问题。因此,兼顾高动态和高精度的运动指标,降低上述问题带来的影响是至关重要的。《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景,针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题,进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》可作为从事精密机电系统研发的科研人员和工程师的参考书。
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