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静电作为一种自然危害源,给人类社会已经造成了巨大的危害:在军事领域,静电放电使火箭弹发生意外点火;在石化工业中,静电放电使油料起火爆炸;在电子工业中,静电放电损坏电子元器件,造成巨大经济损失。近年来,随着电子设备的广泛应用和微电子技术的迅速发展,对静电防护问题提出了更高的要求。 一方面,对静电危害与静电防护的研究离不开测试手段。静电测试主要包括两方面的内容:危险静电源参数的测试和有关材料、制品静电性能的检测。表征静电源的参数主要包括电压、电量、电容、电场强度和放电能量等,表征材料、制品静电性能的参数主要包括体电阻率、表面电阻率、泄漏电阻、电荷衰减时间、面电荷密度、摩擦带电电压等,开展静电危害及防护研究依赖于以上参数的测量和检测。 另一方面,对静电测试设备或仪器同样
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