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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787030693273 Author 作者 金鹏 等 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 180页 Publisher 出版社 科学出版社 Publication Date 出版日期 2022-03-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它（含多语） Book Contents 内容简介 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；*对传感器的性能进行详细的测试。 本书可供光纤传感领域科研人员和工程技术人员参考，也可作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的参考书。
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