正版 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 高端集成电路制造工艺丛书 半导体工厂制造工艺技术教程书籍 清华大学出
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版) “十三五”国家重点图书出版规划,作者团队在半导体工厂工作多年,掌握业界领先的制造工艺
张海洋等作者有着深厚的学术根基以及丰富的产业经验,其带领的团队是多年来在半导体工厂一线工作的科研人员,掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角,将给读者带来启发和帮助。本书理论与实际相结合,紧跟国际技术前沿,填补国内外相关图书空白。
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 张海洋 等 半导体工厂制造工艺技术教程书籍 低温等离子体蚀刻技术专业教材书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中
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集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。等离子体蚀刻是集成电路制造业核心工艺技术之一,在集成电路的诸多领域,扮演着不可或缺的重要角色。过去近半个世纪蚀刻技术栉风沐雨,已从简单的各向同性灰化发展到离子能量分布/电子能量分布级的精密控制技术。张海洋等作者有着深厚的学术根基以及丰富的产业经验,其带领的团队是多年来在*半导体工厂一线工作的科研人员,掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角,将给读者带来启发和帮助。本书理论与实际相结合,紧跟国际技术前沿,填补国内外相关图书空白。本书内容基于已经公开发表的文献以及蚀刻团队对等离子体蚀刻在集成电路体制造应用的全面深刻理解。希望本书对于等离子体蚀刻在高
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 “十三五”国家重点图书,作者团队在*半导体工厂工作多年,掌握业界领先的制造工艺
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学霸必刷题(基于大数据的高频题).初中化学 每道题前的统计数据表示该题在“学霸君App”被学生搜索的次数。“学霸君App”累积5500万用户,40亿次搜题积累。
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