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纳米集成电路制造工艺（第2版） 国内首本关于纳米集成电路制造工艺的著作。半导体产业领军人物张汝京组织，*半导体代工厂一线科研人员编写，清华大学王志华教授作序推荐。
超大规模集成电路的生产工艺，从 微米级 到 纳米级 发生了许多根本上的变化。甚至，从45nm缩小至28nm（以及更小的线宽）也必须使用许多新的生产观念和技术。张汝京先生是随着半导体产业的发展成长起来的领军人物，见证了几个技术世代的兴起与淘汰。他本人有着深厚的学术根基，以及丰富的产业经验，其带领的团队是多年来在*半导体代工厂一线工作的科研人员，掌握了业界领先的制造工艺。他们处理实际问题的经验以及从产业出发的独特技术视角，相信会给读者带来启发和帮助。
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