微机电系统基础 原书第2版 刘昶 国外电子电气经典教材 9787111406570 机械工业
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微机电系统基础（原书第2版）赵永梅、段瑞飞、季安 译机械工业出版社9787111557333 正版旧书，保证质量，此书为单本而非一套，电子发票！
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。本书可供MEMS技术人员和设计人员使用，也可供MEMS专业的高年级本科生和研究生参考。
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微机电系统基础(原书第2版)/国外电子电气经典教材系列 (美)刘昶|译者:黄庆安 机械工业
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微机电系统基础 原书第2版 刘昶 国外电子电气经典 9787111406570 机械工业出版社
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微机电系统基础（原书第2版） hang Liu 国外电子电气经典系列
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机工 微机电系统基础（原书第2版） Chang Liu 黄庆安
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正版 微机电系统基础 原书第2二版 盖德 MEMS在微小尺度方面的物理学流体力学力学光学 控制理论分布式控制及软计算教材
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国外电子电气经典教材系列 微机电系统基础（原书第2版） 【店主推荐，正版书放心购买，可开发票】
《国外电子电气经典教材系列 微机电系统基础（原书第2版）》第版被翻译成3种文字出版发行，并已被美国一些大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分5章。第、2章概括了基本传感原理和制造方法 第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识 第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器 第0～章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则岔入到实例研究中 第2章讨论了工艺技术的综合应用 第3章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术 第4章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法 第5章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。《国外电子电气经典教材系列 微机电系统基础（原书第2版）》循序渐进，体系严密，适合作为微机电系统（ME
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国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）Chang Liu 著机械工业出版社9787111406570 正版旧书，保证质量，此书为单本而非一套，电子发票！
《国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）》第1版被翻译成3种文字出版发行，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10～11章详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了工艺技术的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法；第15章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。 《国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）》循序渐进，体
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正版书籍 微机电系统基础(原书第2版)(美)刘昶机械工业出版社
《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文。为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感嚣、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
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