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从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源,低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色,而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。《射频等离子体物理学》主要聚焦在物理学方面,所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。 《射频等离子体物理学》不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述,同时也包括一些等离子体物理基础知识,如有界等离子体的输运及电学诊断。《射频等离子体物理学》的风格有助于激发读者学习的兴趣,帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析,将理论应用到实际问题中,并留有超过100道的简答题,让读者能够快速掌握新知识,有信心解决与实验相关的物理问题。
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