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《微米加工与纳米制造》是微米/纳米加工技术方面的一本著作,既有一定的理论深度,又有足够的广度,而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段,结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例,阐释了这些技术的原理和特点,提出了特定问题的高效率解决方案,给出了工艺设计方面的指南,并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。
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