微纳结构由于其尺度原因,经典物理中的某些理论、定律和常规的机械加工技术、光学显微检测手段已不再适用。因此,现代科技有针对性地发展了一套系统有效的研究方法来处理这一问题。姚军等的《微纳系统技术与应用》即以此为基础,阐述了微纳结构与系统的原理、发展与应用。全书共7章,第1章介绍了微纳系统技术的概念、研究领域、发展现状和前景;第2章阐述了微光学的基本理论和典型器件;第3章介绍了微机电系统的材料、传感器、执行器及几个典型应用;第4章介绍了微机电系统在微光学中的典型应用——微光机电系统;第5章概括了一些常见的微纳系统技术的微细加工技术;第6章介绍了纳机电系统;第7章通过实例对微纳系统技术的整个研发过程进行了分析。
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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787030321039 Author 作者 姚军,汪为民 Format 版本 平装-胶订 Publisher 出版社 科学出版社 Publication Date 出版日期 2011-08-01 Product Dimensions 商品尺寸 B5 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 本书是作者多年科研成果的总结以及对本领域研究心得体会的凝练,并非是一本教材性质的书籍,而是一本综合而成的具有新理论、新发展、新技术的微纳科学参考用书。除了对微纳系统技术的基础理论和方法的讲述之外,还深入探讨了这一领域内一些热点研究方向的近期新科研成果,例如MEMS空间光调制器(MOEMS)、SPR纳米金属离子传感器、光子塞透镜、气体传感器(BioMEMS NEMS)等等,许多研究和成果都是原创性的,并获得了一定积极评价的。期望这样的探讨能够有助于读者了解微米纳米科
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2册 新型微纳传感器技术+微机电系统(MEMS) 元器件 电路及系统集成技术和应用 传感器测试原理应用芯片封装设计制造仪 部分书籍售价高于定价严者慎拍
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微纳结构由于其尺度原因,经典物理中的某些理论、定律和常规的机械加工技术、光学显微检测手段已不再适用。因此,现代科技有针对性地发展了一套系统有效的研究方法来处理这一问题。姚军等的《微纳系统技术与应用》即以此为基础,阐述了微纳结构与系统的原理、发展与应用。全书共7章,章介绍了微纳系统技术的概念、研究领域、发展现状和前景;第2章阐述了微光学的基本理论和典型器件;第3章介绍了微机电系统的材料、传感器、执行器及几个典型应用;第4章介绍了微机电系统在微光学中的典型应用——微光机电系统;第5章概括了一些常见的微纳系统技术的微细加工技术;第6章介绍了纳机电系统;第7章通过实例对微纳系统技术的整个研发过程进行了分析。
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