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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787560633350 Author 作者 田文超//娄利飞 Format 版本 平装-胶订 Publisher 出版社 西安电子科技大学出版社 Publication Date 出版日期 2015-02-01 Product Dimensions 商品尺寸 其他 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 本书共分8章,比较全面的介绍了微机电技术概念、原理、材料、工艺、应用、关键技术、仿真设计以及封装方法。相比其它微机电系列书,本书对以下四个问题进行了论述:1)卡西米尔力、范德华力、微观连续介质等微尺度问题;2)屈曲弯曲、纵横弯曲、正交分析和拉格朗日―麦斯韦动力方程等问题;3)微机电粗糙面表述;4)微机电封装。此四个问题的叙述,对长期困扰微机电技术发展的粘附及释放、机电耦合、低压大位移驱动和封装等问题,具有重要的参考价值。
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