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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9781644900666 Author 作者 Eds. Konstantinos Zekentes and Konstantin Vasilevskiy Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 292页 Publisher 出版社 Materials Research Forum LLC Publication Date 出版日期 2020-01-01 Product Dimensions 商品尺寸 9 x 5.9 x 0.6 cm Shipping Weight 商品重量 870g Language 语种 英语 Book Contents 内容简介 The book presents an in-depth review and analysis of Silicon Carbide device processing. The main topics are: (1) Surface Cleaning and Etching, (2) Dielectrics, (3) Doping by Ion Implantation, (4) Plasma Etching and (5) Fabrication of Silicon Carbide Nanostructures and Related Devices. The book is also suited as supplementary textbook for graduate courses.
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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9781945291845 Author 作者 Eds. Konstantinos Zekentes and Konstantin Vasilevskiy Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 250页 Publisher 出版社 Materials Research Forum LLC Publication Date 出版日期 2018-09-25 Language 语种 英语 Book Contents 内容简介 The rapidly advancing Silicon Carbide technology has a great potential in high temperature and high frequency electronics. High thermal stability and outstanding chemical inertness make SiC an excellent material for high-power, low-loss semiconductor devices. The present volume presents the state of the art of SiC device fabrication and characterization. Topics covered include: SiC surface cleaning and etching techniques; electrical characterization methods and processing of ohmic contacts to silicon carbide; analysis of contact resistivity dependence on material properties; limitations and accuracy of contact resistivi
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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787111741886 Author 作者 (希)康斯坦丁·泽肯特斯(Konstantinos Zekentes) 等 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 428页 Publisher 出版社 机械工业出版社 Publication Date 出版日期 2024-01-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 《碳化硅器件工艺核心技术》共9章,以碳化硅(SiC)器件工艺为核心,重点介绍了SiC材料生长、表面清洗、欧姆接触、肖特基接触、离子注入、干法刻蚀、电解质制备等关键工艺技术,以及高功率SiC单极和双极开关器件、SiC纳米结构的制造和器件集成等,每一部分都涵盖了上百篇相关文献,以反映这些方面的近期新成果和发展趋势。 《碳化硅器件工艺核心技术》可作为理工科院校物理类专业、电子科学与技术专业以及材料科学
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