微机电系统基础 (美)刘昶 著 机械工业出版社【正版图书】 【店主推荐,正版书放心购买,可开发票】
《华章教育 微机电系统基础(英文版·第2版)》全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的技术论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例 惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。《华章教育 微机电系统基础(英文版·第2版)》被美国斯坦福大学、伊利诺伊大学等选为教材。
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本书特色:均衡了不同背景的学生(机械工程系学生和电子工程系学生)的需求。均衡地讨论了MEMS基础知识的三个支柱:设计、制造和材料。均衡地安排了理论基础和实践。
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