由于传感器的空前发展,人们对这方面知识的需求越来越迫切。虽然目前已有不少关于传感器方面的书籍,但仍然不能满足当前人们的实际需求。为此,我们应高等院校师生和广大科研人员、工程技术人员的要求,组织有教学、科研经验的专家、教授,编写了能满足当前传感器教学的《微纳传感器及其应用》一书。本书分八章。**章对MEMS进行了概述,简要介绍了MEMS技术的定义、基础理论、制造技术及应用;第二~七章分别以机械微传感器、热微传感器、磁微传感器、光学微传感器与辐射微传感器、化学微传感器与生物微传感器和声波微传感器为主题,介绍了不同种类微传感器的原理及应用;*后第八章介绍了一些传感器的应用实例。
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