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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787122238832 Author 作者 莫锦秋,梁庆华,王石刚 编著 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 191页 Publisher 出版社 化学工业出版社 Publication Date 出版日期 2015-08-01 Product Dimensions 商品尺寸 16开 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章,分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面,包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节;微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理;优选的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术;多种设计手段和实用软
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