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Product Details 基本信息 ISBN-13 书号 9787030685162 Author 作者 马英杰 等 Format 版本 平装-胶订 Pages Number 页数 268页 Publisher 出版社 科学出版社 Publication Date 出版日期 2021-05-01 Product Dimensions 商品尺寸 B5 Language 语种 其它(含多语) Book Contents 内容简介 本书首先简要介绍低维异质半导体材料及其物理性质,概述刻蚀和分子束外延生长两种基本的低维半导体材料制备方法,简要说明了分子束外延技术设备的工作原理和低维异质结构的外延生长过程及其工艺发展。接着分别从热力学和动力学的角度详细阐述了硅锗低维结构的外延生长机理及其相关理论,重点讨论了图形衬底上的硅锗低维结构可控生长理论和硅锗低维结构的可控外延生长技术,并结合丰富的硅锗纳米结构可控生长实例,详细讨论图形硅衬底和斜切硅衬底上
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