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MEMS多晶圆旋转机械:涡轮机、发电机和发动机,Jeffrey,H.Lang著,刘欢,刘卫国等译,国防工业出版社
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MEMS多晶圆旋转机械:涡轮机、发电机和发动机 Jeffrey,H.Lang著,刘欢,刘卫国等译 国防工业出版社
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